等离子设备能够去除废气中的成分，使其在达标以后排入空气中。它的工作原理主要是利用等离子的能量废气组份的分解和消耗，终实现废气净化的目的。废气处理设备中比较节能的要数等离子设备，这种设备组件简单，相互之间的连接紧密，可以允许废气顺利通过管道，并在管道中完成分离。

设备的应用的关键点在于等离子的产生，这种物质一般是无法稳定存在的，因为正负电荷相互之间有吸引力，能在较短的时间内被消耗干净，因此需要有特定的环境进行等离子的积累，这才能净化效果持续进行。等离子设备是通过加热的方式来空气中分子的裂解形成离子，无论是带正电荷的离子还是带负电荷的离子，在整个反应过程中它们都要发挥作用。

等离子直接和废气组份分子进行反应，失去电子的正离子能够从分子中获取电子，使分子发生氧化反应，经过一些系列的化学变化和物理变化，废气组份发生变化，浓度也逐渐降低，直到废气成分趋于稳定，净化过程才得以圆满结束。

反应过程中，电场的能量是激发等离子产生的条件，通过加大电量来增加空气中等离子的浓度，从而提高废气处理设备的反应速度，如果废气浓度不太高，电场的输出能量可以适当降低，这种操控可以减少能源的浪费，体现出这类设备的经济价值。